凈化廠房的電氣設計安裝

凈化廠房的用電負荷等級和供電要求，應根據(jù)現(xiàn)行國家標準《供配電系統(tǒng)設計規(guī)范》有關規(guī)定和凈化廠房的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。通常情況下，主要生產(chǎn)工藝設備應由專用變壓器或專用低壓饋電線路供電，有特殊要求的工作電源宜設置不間斷電源(UPS)；凈化空調(含供冷設備)用電負荷、照明負荷應由變電所專線供電。近年來我國以集成電路芯片制造和薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)為代表的微電子產(chǎn)品用凈化廠房建設發(fā)展迅速，這類凈化廠房建設規(guī)模大、投資大，面積大、體量大，有的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝需使用多種類型物質，且產(chǎn)品生產(chǎn)過程多自動傳輸、連續(xù)生產(chǎn)，一旦停電，將會造成經(jīng)濟損失，甚至可能引發(fā)嚴重的事故，為此在我國的有關現(xiàn)行國家標準中對供電系統(tǒng)作出了較為嚴格的規(guī)定。例如在《硅集成電路芯片工廠設計規(guī)范》中規(guī)定:硅集成電路芯片工廠用電負荷等級應為一級，其供電品質應滿足芯片生產(chǎn)工藝及設備要求;芯片制造用凈化廠房的供電系統(tǒng)應將生產(chǎn)工藝設備與動力設備的供電分設，生產(chǎn)工藝設備宜采用獨立的變壓器供電；對于有特殊要求的工藝設備，應設不間斷電源(UPS)或備用發(fā)電裝置。據(jù)調查，目前我國已建或正在建設的集成電路芯片制造用凈化廠房等微電子產(chǎn)品生產(chǎn)用凈化廠房，根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和建設地區(qū)的具體條件等因素，大多不僅設置有規(guī)模不等的不間斷電源(UPS)，還設有不同規(guī)模、不同類型的備用發(fā)電裝置，以確保微電子產(chǎn)品正常、穩(wěn)定和連續(xù)的生產(chǎn)。凈化廠房低壓配電設計應采用220V/380V，帶電導體系統(tǒng)的形式宜采用單相二線制、三相三線制和三相四線制。

通常在凈化廠房內有較多的電子設備是單相負荷，存在不平衡電流，且在環(huán)境中有熒光燈、晶體管、數(shù)據(jù)處理設備以及其他非線性負荷存在，配電線路中會存在高次諧波電流，致使中性線上流有較大電流;而TN-S或TN-C-S接地系統(tǒng)中有專用不帶電的保護接地線(PE)，所以安全性好，有利于抑制電磁干擾，為此凈化廠房低壓配電系統(tǒng)接地的形式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。凈化廠房(區(qū))內的配電設備，為了防止或減少產(chǎn)生、積存微粒，應選用不易積塵、便于擦拭的小型、微型設備，不宜設置落地安裝的配電設備。一般在具有上技術夾層/下技術夾層的凈化廠房內，宜將配電設備設置在下技術夾層，并應在上頂部設擋水措施。凈化廠房內根據(jù)氣流組織和各種管線的敷設以及凈化空調系統(tǒng)送回風口、照明燈具、報警探測器等的布置要求，通常設置在上技術夾層、下技術夾層、技術夾道或技術豎井內等。電氣管線宜敷設在技術夾層或技術夾道內，宜采用低煙、無鹵型電纜，穿線導管應采用不燃材料。潔凈生產(chǎn)區(qū)的電氣管線宜暗敷，電氣管線管口及安裝在墻上的各種電器設備與墻體接縫處應有可靠的密封措施。在凈化廠房內的上部配電方式:低壓輸配電線路一般采用兩種方式，即電纜橋架敷設至配電箱、配電箱至用電設備的配電方式;或封閉式母線槽十插接箱(插孔不用時封堵)，由插接箱至生產(chǎn)設備或生產(chǎn)線的電控箱。后一種配電方式只用于潔凈度要求不高的電子、通信、電工器件及其整機廠房中，它可為生產(chǎn)產(chǎn)品多變，生產(chǎn)流水線更新變動，生產(chǎn)設備移位、增減等帶來極大方便，不需要對車間配電設備、干線做改造，只要將母線插接箱移位或利用備用插接箱引出電源線纜即可。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈車間、無塵廠房等的咨詢、規(guī)劃、設計、施工、安裝、改造等配套服務。

凈化廠房上技術夾層配線:在凈化廠房上部設有技術夾層或凈化廠房上部設有吊頂時應用，吊頂可分為鋼筋混凝土夾層和金屬壁板等結構形式，凈化廠房普遍采用金屬壁板型吊頂。在凈化廠房上技術夾層的配線方式同上述的配電方式?jīng)]有多大差異，但要強調的是電線、電纜管線穿過吊頂處時應進行密封處理，防止吊頂內灰塵等進入凈化廠房，并維持凈化廠房的正(負)壓。對于只設有上技術夾層的非單向流凈化廠房的上夾層，通常敷設有空調通風管道、氣體動力管道、給水管道、電氣和通信強弱電管線及橋架、母線等，常常管道縱橫交錯，十分復雜，設計時需進行綜合規(guī)劃，畫出管道綜合剖面圖，使各種管道布置井然有序，方便施工維修。通常采用多層布置的多層凈化廠房，在潔凈生產(chǎn)層的上部、下部設置上技術夾層、下技術夾層，其層高均在4.0m以上，通常將下技術夾層作為凈化空調系統(tǒng)的回風靜壓室，根據(jù)工程設計需要，電氣管線、電纜橋架和封閉式母線可以敷設在回風靜壓室內。低壓配電方式與前述方式?jīng)]有多大差異，只是回風靜壓室是凈化系統(tǒng)的組成部分，敷設在靜壓室內的管線、電纜、母線安裝敷設前要事先進行清潔處理，并便于日常清潔。下技術夾層電氣配線方式送電至凈化廠房的用電設備，輸送距離短，凈化廠房內電氣管線少或沒有明敷管線，對提高潔凈度有益。

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