潔凈凈化廠房靜電測(cè)試

潔凈凈化廠房內(nèi)往往存在著不容忽視的靜電，是導(dǎo)致電子器件、電子儀器和設(shè)備損壞或性能下降的重要因素之一，對(duì)芯片制造影響尤為嚴(yán)重。此外還是潔凈凈化廠房在生產(chǎn)過(guò)程中有特殊氣體或粉塵產(chǎn)生導(dǎo)致存在影響，潔凈凈化廠房靜電對(duì)塵埃的吸附效應(yīng)也造成生產(chǎn)環(huán)境和產(chǎn)品各個(gè)壁面的塵埃聚集影響潔凈凈化廠房的環(huán)境和產(chǎn)品被污染。

1.相關(guān)的規(guī)范規(guī)定

潔凈凈化廠房相關(guān)規(guī)范對(duì)靜電防護(hù)問(wèn)題從設(shè)計(jì)到運(yùn)行都有具體的規(guī)定。例如，潔凈凈化廠房設(shè)施應(yīng)該選用那些既不會(huì)產(chǎn)生也不能蓄積大量靜電的建筑材料，為保護(hù)對(duì)靜電敏感的設(shè)備、器件，地面電阻應(yīng)該在R_E=10⁴?~10⁷?范圍內(nèi)，表面聚集電荷的限定值應(yīng)小于2kV等。

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》規(guī)定：潔凈凈化廠房地面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能并應(yīng)保持長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定，其地面表層應(yīng)采用靜電耗散性材料，其表面電阻應(yīng)為1.0×10⁵~1.0×10¹²?或體積電阻率為1.0×10⁴~1.0×10¹¹?·cm。地面應(yīng)設(shè)有導(dǎo)電泄放措施和接地構(gòu)造，其對(duì)地泄放電阻應(yīng)為1.0×10⁵~1.0×10⁹?等。不同標(biāo)準(zhǔn)在具體限值的數(shù)量上或略有差異，測(cè)試前宜與業(yè)主商定達(dá)標(biāo)的限值。

2.靜電測(cè)試方法

靜電測(cè)試通常包括兩部分內(nèi)容：一是靜電測(cè)試本身，其目的是掌握產(chǎn)品表面上的靜電電荷和地面、工作臺(tái)面或其他設(shè)施的靜電電壓的耗散率；二是離子生成器測(cè)試，其目的是通過(guò)監(jiān)測(cè)器測(cè)量初始充電的放電時(shí)間，和通過(guò)測(cè)定隔開(kāi)來(lái)的監(jiān)測(cè)板的補(bǔ)償電壓來(lái)評(píng)估其性能。上述兩部分測(cè)量結(jié)果都能反映清除或中和靜電荷的效率和產(chǎn)生的正負(fù)離子量間的不穩(wěn)定性。

3.表面電壓水平的測(cè)量

通常采用靜電壓計(jì)或場(chǎng)強(qiáng)計(jì)測(cè)定設(shè)備和產(chǎn)品表面的正負(fù)靜電荷，具體方法是把靜電電壓計(jì)或場(chǎng)強(qiáng)計(jì)的輸出調(diào)節(jié)為0，按儀器說(shuō)明書(shū)規(guī)定，讓探測(cè)器面朝接地的金屬板，探測(cè)頭保持使測(cè)孔平行于所規(guī)定的某個(gè)距離處放置的板，記錄靜電壓計(jì)的讀值。

4.靜電耗散性的測(cè)量

通過(guò)測(cè)量表面上不同位置之間的電阻---表面電阻和表面和地面之間的電阻---漏電電阻來(lái)評(píng)定靜電耗散特性，一般采用高阻歐姆計(jì)來(lái)測(cè)量。

采用有足夠重量和尺寸適當(dāng)?shù)碾姌O來(lái)測(cè)量表面電阻和漏電電阻。測(cè)量表面電阻時(shí)，要注意電極位置與表面保持正確的距離。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈車(chē)間、凈化廠房的咨詢(xún)、規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工、安裝改造等配套服務(wù)。

5.離子生成器測(cè)試

本項(xiàng)測(cè)試的目的是用以評(píng)估雙級(jí)離子生成器的性能，測(cè)試內(nèi)容為測(cè)試放電時(shí)間和補(bǔ)償電壓，放電時(shí)間將用以計(jì)算離子生成器消除電荷的效率，補(bǔ)償電壓將用以評(píng)估在離子生成器生成的離子化氣體中正負(fù)離子的不穩(wěn)定性。離子的不穩(wěn)定性會(huì)造成不利的殘余電壓。

測(cè)量工作由稱(chēng)之為“充電板監(jiān)測(cè)器”的設(shè)備完成，該設(shè)備由導(dǎo)電監(jiān)測(cè)板、靜電電壓計(jì)、計(jì)時(shí)器和電源等構(gòu)成。

6.放電時(shí)間的測(cè)量

采用已知電容，例如20pF的絕緣導(dǎo)電板作為監(jiān)測(cè)板，開(kāi)始時(shí)用電源給監(jiān)測(cè)板充電并達(dá)到已知的正或負(fù)電壓，隨后將監(jiān)測(cè)板暴露在被評(píng)估的雙級(jí)離子生成器離子化的氣體中，用靜電電壓計(jì)測(cè)量板上的靜電荷，同時(shí)以計(jì)時(shí)器配合測(cè)量板上電壓隨時(shí)間的變化。

放電時(shí)間的定義是監(jiān)測(cè)板上的靜電荷減少到100%初始電壓所需的時(shí)間，由用戶(hù)和供應(yīng)商協(xié)商確定作為驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試點(diǎn)的位置和測(cè)定結(jié)果。

7.補(bǔ)償電壓的測(cè)量

采用類(lèi)似的監(jiān)測(cè)板裝在絕緣器上，用靜電電壓計(jì)監(jiān)測(cè)絕緣板上的電荷，以測(cè)量補(bǔ)償電壓。開(kāi)始時(shí)將板接地去除殘余電壓，確認(rèn)板上的電壓為0，隨后把板放在離子化的氣體中，直到電壓計(jì)的指示值達(dá)到穩(wěn)定為止，該值即為所測(cè)的補(bǔ)償電壓。

至于離子生成器的允許補(bǔ)償電壓取決于工作區(qū)的物體對(duì)靜電荷的敏感性，所以允許的補(bǔ)償電壓應(yīng)由用戶(hù)與供應(yīng)商協(xié)商確定。

8.測(cè)試報(bào)告

測(cè)試報(bào)告需要包括的內(nèi)容應(yīng)有：

(1)儀器使用者或數(shù)據(jù)收集設(shè)備的名稱(chēng)；

(2)測(cè)試儀器的名稱(chēng)及其校準(zhǔn)狀態(tài)；

(3)測(cè)試和測(cè)量類(lèi)型和測(cè)量條件；

(4)溫度、濕度和環(huán)境數(shù)據(jù)；

(5)測(cè)點(diǎn)位置；

(6)潔凈凈化廠房所處的狀態(tài)。

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